勻膠機(jī)利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。主要用于材料浸入液體，膠體中經(jīng)提拉在表面形成薄膜，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，木材，金屬等所有固體材料表面涂覆工藝?？稍诳蒲校逃?，生產(chǎn)中應(yīng)用。
 

　　勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)：
 

　　旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。它的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
 

　　從其原理來說，勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
 

　　(1)旋轉(zhuǎn)速度
 

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
 

　　(2)真空吸附系統(tǒng)
 

　　真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
 

　　勻膠機(jī)的主要特點(diǎn)：
 

　　1、計(jì)算機(jī)控制運(yùn)行，運(yùn)行參數(shù)記憶，一鍵復(fù)位，保障試驗(yàn)過程可重復(fù)。
 

　　2、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示，方便觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象。到位自動(dòng)停機(jī)，聲音報(bào)告。
 

　　3、高精度直線導(dǎo)軌控制運(yùn)行軌跡，保障運(yùn)行軌跡的精確直線性。
 

　　4、2個(gè)工作位：可安放2個(gè)燒杯，內(nèi)盛不同粘度的膠體。
 

　　5、每個(gè)工作位可夾持1個(gè)以上的“玻片”。
 

　　6、工作效率更高。
 

　　7、彈簧夾持“玻片”，結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單，操作更方便。